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气相沉积设备

所属分(fēn)类：

该装备是将碳纤维预制體(tǐ)置于反应室内，将工艺气體(tǐ)在高温下通过一系列的脱氢、环化、缩聚等化學(xué)反应，生成的碳原子在碳纤维表面不断地堆积，形成热解碳，随着热解碳的不断沉积或渗透，多(duō)孔的预制體(tǐ)获得增密增强的工艺过程。该工艺过程需要重复多(duō)个沉积周期。

产品描述

　　该装备是将碳纤维预制體(tǐ)置于反应室内，将工艺气體(tǐ)在高温下通过一系列的脱氢、环化、缩聚等化學(xué)反应，生成的碳原子在碳纤维表面不断地堆积，形成热解碳，随着热解碳的不断沉积或渗透，多(duō)孔的预制體(tǐ)获得增密增强的工艺过程。该工艺过程需要重复多(duō)个沉积周期。
技术参数 
　　最高温度：1200℃     常用(yòng)工作温度：1100℃
　　温度均匀度：≤±10℃ 仪表控温精度： ±1℃
　　工艺气體(tǐ)：甲烷       抽真空时间：≤120min
 

关键词：

能(néng)源

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